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微波等离子体化学气相沉积炉

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产品摘要

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产品应用:该款具有高电离度、高电子温度和电子密度、适用压强范围宽、无内部电极污染等性能,微波等离子体在材料表面处理、金刚石薄膜制备、化学气相沉积、刻蚀以及甲烷转化制氢、长余辉发光材料、陶瓷烧结、碳纳米管修饰[3]、纳米粉体合成、处理水污染等领域有广泛应用。

产品特点:

1. 垂直反应器的设计可使等离子密度高;对称的微波发生装置,使产生的等离子环境更均匀。

2. 微波等离子体气相沉积炉的谐振腔内没有内部电极,可以避免电极放电所产生的污染,而且,它的运行气压范围比较宽,所产生等离子体密度高、区域大,稳定度高,且不与真空器壁接触,从而避免了器壁对薄膜的污染。

技术参数:

型号/model

WBMW-DLZ3

可加热材料

非易燃易爆的任何材料

微波频率

2.45GHZ±50MHz

加热方式

纯微波加热

大功率/KW

3 (功率可调)

高工作温度/

1200

长期工作温度/

199

温度测试元件

微波场传感器

控温精度/

±2

石英管尺寸(外径/内经X长度)/mm

φ102/φ92x990

真空系统配置(可选)

简单机械泵抽真空和不锈钢法兰;

10-1Pa真空用高品质机械泵及真空计;

10-2Pa真空用高品质机械泵、扩散泵及真空计;

10-3Pa真空用高品质机械泵、分子泵及真空计;

升温速率(标配)

50/min 可分 段加热 300/min

外型尺寸(xx)/mm

990´750´1830

微波泄漏量/ mW/

0.4

提供相关配件

高温手套×1、中文说明书×1

保质期

整机保修1

标签: SRJX-8-13高温箱式电阻炉 SRJX-10-13高温箱式电阻炉
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