微波等离子体化学气相沉积炉
产品摘要
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产品应用:该款具有高电离度、高电子温度和电子密度、适用压强范围宽、无内部电极污染等性能,微波等离子体在材料表面处理、金刚石薄膜制备、化学气相沉积、刻蚀以及甲烷转化制氢、长余辉发光材料、陶瓷烧结、碳纳米管修饰[3]、纳米粉体合成、处理水污染等领域有广泛应用。
产品特点:
1. 垂直反应器的设计可使等离子密度高;对称的微波发生装置,使产生的等离子环境更均匀。
2. 微波等离子体气相沉积炉的谐振腔内没有内部电极,可以避免电极放电所产生的污染,而且,它的运行气压范围比较宽,所产生等离子体密度高、区域大,稳定度高,且不与真空器壁接触,从而避免了器壁对薄膜的污染。
技术参数:
型号/model |
WBMW-DLZ3 |
可加热材料 |
非易燃易爆的任何材料 |
微波频率 |
2.45GHZ±50MHz |
加热方式 |
纯微波加热 |
大功率/KW |
3 (功率可调) |
高工作温度/℃ |
1200 |
长期工作温度/℃ |
≤199 |
温度测试元件 |
微波场传感器 |
控温精度/℃ |
±2 |
石英管尺寸(外径/内经X长度)/mm |
φ102/φ92x990 |
真空系统配置(可选) |
简单机械泵抽真空和不锈钢法兰; 10-1Pa真空用高品质机械泵及真空计; 10-2Pa真空用高品质机械泵、扩散泵及真空计; 10-3Pa真空用高品质机械泵、分子泵及真空计; |
升温速率(标配) |
50℃/min 可分 段加热 300℃/min |
外型尺寸(长x宽x高)/mm |
990´750´1830 |
微波泄漏量/ mW/㎝ |
≤0.4 |
提供相关配件 |
高温手套×1、中文说明书×1 |
保质期 |
整机保修1年 |